ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能！ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に
『Dyvoceシリーズ』は、被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる
非接触形状測定システムです。
使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、
高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術
により、様々な測定が可能。
ラインアップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、
ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能です。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせ下さい。
【特長】
■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に好適
■使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備
■ワークに合わせた専用ホルダの製作も対応
■御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っている
■実際に測定を試していただくことも可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』
【機能】
■測定駆動
・Dyvoce Measure（形状測定ソフトウェア）
・Spider Measure（間引き測定）
・GridMaker（複数ワーク一括測定）
■解析
・DyvoceAnalyzer（解析ソフトウェア）
・SORI・BOW（SEMI Stndard）
・レポート作成
■解析（オプション）
・マッピング補正
・自重たわみ補正
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』
取扱企業高精度表面形状測定システム『Dyvoceシリーズ』
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