イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー

全てのガスを効率的に排気する　超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ

NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。
小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。
活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイオンポンプに比べ、10倍から50倍、小さく軽量になっています。

【特徴】
○ 全ての活性ガス向けに高い排気速度と許容量を発揮
○ 不活性ガスとメタンに対しての排気速度
○ UHV-XHVでコンスタントな排気速度
○ オペレーションの際、最低限の電力しか必要としない。
○ 非常に小型で軽量なポンプ
○ 磁場との干渉を削減
○ オイルフリーおよび振動フリー
○ 10-9 mbar以下の圧力を測定可能

関連リンク - https://www.saesgetters.com/jp/products-functions/…

基本情報イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

【標準仕様】
○ 使用可能なフランジサイズ：ICF70/114/152（製品グレードによる）
○ 重量: 2.2/3.1/6.5Kg製品グレードによる）
○ 寸法（大気側イオンポンプ）：75x75x106/75x75x120mm（製品グレードによる）
○ 排気速度（水素に対して）：100/200/300/500/1000/2000L/s（製品グレードによる）
○ 専用電源あり

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途例】 ● 粒子加速器 ● UHV-XHV実験装置 ● ポータブル搬送装置 ● SEM, TEM, FIB他各種分析装置

お問い合わせ

取扱企業イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」

サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー日本支店

【主な製品】 ○ ゲッター (真空チャンバー、封じ切りデバイスにおけるガス吸着剤) ○ 真空ポンプ (ゲッターポンプ) ○ 機能性高分子材料 (乾燥剤) ○ ディスペンサー (水銀、アルカリ金属の蒸発源) ○ 形状記憶合金 (SMA) ○ カソードなど特殊製品 (スペクトラマット社にて) 【多様な市場、用途例】 ●一般消費者向け製品、家庭用電化製品 ● ディスプレイ ● 再生可能エネルギー ● 断熱 ● 医療用機器 ● 半導体、センサー ● 光源、照明 ● 科学装置と研究施設向け超高真空システム ● 自動車関連 ● 電気通信産業と航空電子機器 ● アクチュエーター (形状記憶合金を使った)