検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。
5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。
ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。
外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。
基本情報5nmフィードバックステージコントローラ FC-611
型式：FC-611
接続対象ステージ：FS-10□0SPXシリーズ、FS-10□0SPX(V)シリーズ
制御軸数：2
最小指令単位：5nm
インポジション範囲：±5nm（±15nm、±35nm 選択可）
最大動作速度設定：30mm/sec（接続ステージの性能に依存）
制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド）
電源：AC100V～240V
| 価格帯 | 50万円 ~ 100万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FC-611 |
| 用途／実績例 | 最先端研究での位置決め用途 電子線やレーザー光の位置決めなど |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FC-611 | FC-601Aの後継機 |
カタログ5nmフィードバックステージコントローラ FC-611
取扱企業5nmフィードバックステージコントローラ FC-611
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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