1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY シグマ光機

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。

『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。

自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。

高トルクタイプはFS-1040SPX(MD)
高速度タイプはFS-1040UPX
となっております。

(*1)フィードバックステージコントローラFC-911との組み合わせ

関連リンク - https://www.global-optosigma.com/jp/

基本情報1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

最小分解能：1nm
最大移動速度：0.5mm/sec（FC-911使用時）
ストローク：40mm
対応コントローラ：FC-911

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型番・ブランド名	FS-1040SPX(MD)　/　FS-1040SPXY(MD)
用途／実績例	フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。例）MEMSの検査時の位置決め　　光学系のディレイステージ　　顕微鏡ステージ

カタログ1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

取扱企業1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

シグマ光機株式会社

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