真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ
光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。
分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で
動作させることができます。
アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。
基本情報真空対応サブミクロンフィードバックステージ 微小回転タイプ
最小分解能：0.00005°（FC-411使用時）
：0.0001° （FC-111使用時）
最大移動速度：1°/sec
ストローク：±4°
対応コントローラ：FC-411 or FC-111
対応真空度：10^-4 Pa
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| 価格情報 | - |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1120θ(V) |
| 用途／実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
カタログ真空対応サブミクロンフィードバックステージ 微小回転タイプ
取扱企業真空対応サブミクロンフィードバックステージ 微小回転タイプ
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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