株式会社テクノビジョン クリーン加熱ヒーター|「SHシリーズ」

加熱部にステンレス(SUS 316-EP処理)を採用した不活性ガス/クリーンドライエアー用ヒーター

各種乾燥装置、エアーナイフ、水切り装置等に使用されるクリーンドライエアー(CDA)、不活性ガスのクリーン加熱用に最適です。

基本情報クリーン加熱ヒーター|「SHシリーズ」

■主な特長
・ヒーター容量は500~2400Wまで6種類
・加熱部、流体通路はオールステンレス電解研磨処理
・高効率、安全、小型設計

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 SHシリーズ
用途/実績例 装置組込み、既設ラインに組込み等インライン設置に最適です。

ラインナップ

型番 概要
SH-500 500W 単相 200V サイズ:100×300mm
SH-800 800W 単相 200V サイズ:100×300mm
SH-1000 1000W 単相/三相 200V サイズ:100×400mm
SH-1500 1500W 単相/三相 200V サイズ:100×400mm
SH-1800 1800W 単相/三相 200V サイズ:100×500mm
SH-2400 2400W 単相/三相 200V サイズ:100×500mm

カタログクリーン加熱ヒーター|「SHシリーズ」

取扱企業クリーン加熱ヒーター|「SHシリーズ」

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■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■FPD製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。 【洗浄装置関連】 ・カセット・キャリア洗浄装置 ・フォトマスク洗浄装置 ・全自動マスク洗浄装置/マスク洗浄機 ・簡易洗浄ユニット ・紫外線オゾン洗浄装置 ・超純水用・エアー用加熱装置 【スーパークリーンヒーター】 ・超純水用加熱ヒーター ・クリーン加熱ヒーター ・簡易タイプ温度コントローラー 【後工程組立関連】 ・テープマウンター/ウェハーマウンター(ウエハーマウンター) ・ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置 ・UVフィルム硬化装置/紫外線フィルム硬化装置 ・グリップリング/ウェハー収納ケース ※日本全国および海外(台湾、中国、欧米)にも対応。 詳細は、お気軽にお問合せ下さい。

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