テクノロジーリンク株式会社 X-LRMシリーズ精密電動ステージ

コンパクト・低床・高剛性・高精度リニアステージ

・ストローク長は25~200mm
・焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性
・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き
・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き
・200mmストロークに対し、位置決め精度15μm以内(リニアエンコーダ内臓タイプ)
・耐荷重50kgの高剛性ステージ
・コントローラ内蔵、他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能

基本情報X-LRMシリーズ精密電動ステージ

ストローク長:25, 50, 100, 250, 200mm
初期値分解能:0.047625 µm
位置決め精度:8 µm
最高速度:25 mm/s
最低速度:0.000029 mm/s
速度分解能:0.000029 mm/s
最大推力:50 N
最大連続推力:25 N
通信インターフェース:RS-232
通信プロトコール:Zaber ASCII (初期値), Zaber Binary
最大中心荷重:500 N
最大片持ち荷重:1500 N-cm
最大電流消費:350mA
電源:24-48VDC
モータ 1 回転での移動距離:0.6096mm
モータ 1 回転ステップ数:200
モータタイプ:2 相ステッパーモータ
インダクタンス:3.5 mH/相
機械的駆動方式:精密級リードスクリュー
リミット又はホーム検出:磁気式ホールセンサー
操作温度範囲:0~50℃
ステージ平行度:< 10µm
RoHS準拠
CEマーキング準拠
ピッチ剛性:750 N-m/deg
ロール剛性:550 N-m/deg
ヨー剛性:400 N-m/deg

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※3週間以内
型番・ブランド名 X-LRMシリーズ
用途/実績例 XY キャリブレーション テーブル
赤外線センサー検査
温度測定センサー位置決め
レーザー三角測量調整
機内測定用質量分析計
光学式検査装置
CCD や光電子増倍管の位置

ラインナップ

型番 概要
X-LRM
X-LRM-E ロータリエンコーダ内臓タイプ スリップ/ストール検出機能
X-LRM-DE リニアエンコーダ内臓タイプ フルクローズドループ制御

取扱企業X-LRMシリーズ精密電動ステージ

テクノロジーリンク株式会社

世界中の優れたモーションコントロールデバイスをご紹介します。 大気中・超真空(UHV)・光学における高精度コントロールデバイスを少数単位から対応。 選定におけるコンサルティング・デモ機貸し出し可。※日本語版製品データシート・マニュアル付 取扱いメーカー Zaber社(カナダ)コントローラ・ドライバを組み込んだステージと、デイジーチェーンによる多軸ステージのシリアル接続など、ユニークな位置決めシステムを提供しているハイテクモーションコントロール企業。 Lika社(イタリア)過酷環境(広範囲温度環境、防塵防水、IP68規格、ATEX防爆仕様)、高度な電子及びソフト開発技術、迅速且つ安価なカスタマイズ、国際規格(RoHS, UL, CE, 等)に全て準拠、光学式・磁気式(インクリメンタル・アブソリュート)各種エンコーダ。 Netzer社(イスラエル)世界特許を有した電気式(静電容量方式)アブソリュートロータリエンコーダのメーカとしてデビュー。 NASA開発の人型ロボットRobonaut IIに搭載されISSにて稼働中。

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