枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』 http://www.ipros.jp/public/product/image/003/2000286213/IPROS8220672947078672934.JPG 【ラインアップ】 『RCAウエハ洗浄装置』のほかにも多数ラインアップしています。 ■自動ウエハ洗浄装置 ■自動エッチング装置 ■自動基板用現像装置 ■自動ウエハレジスト塗布装置 ■自動角型基板レジスト塗布装置 ■自動レジスト塗布現像装置 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 ジャパンクリエイト株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置
  • カスタマイズOK!素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です
    ジャパンクリエイト株式会社
    『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される
    RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。

    ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに
    採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。

    【特長】
    ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能
    ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK
    ■急な仕様変更にも細かく対応
    ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

    【展示会出展情報】
    SEMICON Japan
    場所:東京ビッグサイト
    期間:2017年12月13日~15日
    小間番号:3509 東ホール
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基本情報枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

【ラインアップ】
『RCAウエハ洗浄装置』のほかにも多数ラインアップしています。
■自動ウエハ洗浄装置
■自動エッチング装置
■自動基板用現像装置
■自動ウエハレジスト塗布装置
■自動角型基板レジスト塗布装置
■自動レジスト塗布現像装置
※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

価格

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納期

発売日

取扱い中

用途/実績例

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よく使用される業種

電子部品・半導体、その他製造、その他

カタログ枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

  • 【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
    ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。
    『枚葉式ウエハ処理装置』は、2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板を、ローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する装置です。
    カセットの他FOUPも使用できるタイプも有ります。

    【ラインナップ】
    ○自動ウエハ洗浄装置
    ○自動エッチング装置
    ○自動基板用現像装置
    ○自動ウエハレジスト塗布装置
    ○自動レジスト塗布現像装置、他
    [PDF:528KB]

取扱会社枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。

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