株式会社サーマプレシジョン フルパネル量産投影露光装置『CMS-Ck』※デモ受付中
- 最終更新日:2023-02-14 12:45:12.0
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解像力とアライメント精度を高め、量産プロセスに対応。UV-LED光源を採用し、ランニングコストを低減
『CMS(Cerma Micro Stepper)-Ck』は、650×550mmの
フルサイズ基板に対応した、微細パターン露光が可能な投影露光装置です。
標準光源として、UV-LED光源を採用。
解像力(L/S)が2μmのインターポーザーをはじめ、
高精細・高精度・高生産性を要求される用途に適しています。
【特長】
■L/S=1.4/1.4μmからの量産プロセスに対応
■ダイバイダイアライメント&グローバルアライメント方式
■チップファースト工程にも対応可能
■ショット毎チルト機構搭載により歩留まり向上
※詳しくは資料をご覧ください。また、当社では製品を実際に評価いただける
クリーンルームも完備。デモをご希望の方はお気軽にご連絡ください。
(ラミネート・塗布、現像の周辺プロセスを含めて対応可能です)
基本情報フルパネル量産投影露光装置『CMS-Ck』※デモ受付中
用途:半導体後工程、RFフィルター、パワー半導体、電子部品、パッケージ、研究、MEMS
対応基板:ウエハ(特殊ウエハ含む)各種サイズ、ガラス、有機基板など
当社では、カスタム設計やレンズ設計・製造・販売、LED光源の販売も行っています。
詳しくはお気軽にお問い合わせください。
価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
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型番・ブランド名 | CMS |
用途/実績例 | ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。 |
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