アウトガス放出量が低い！耐熱・耐蝕性が向上する半導体部品向け表面処理
ニッコーシの『OGF処理』は、無孔質、クラックレスのアルミ母材用酸化
被膜処理です。
OGF処理を行うことで、50～400℃まで加熱した場合の表面からの放出ガスは
無垢のアルミレベルとほぼ変わらず、450℃近傍でも酸化被膜にクラックは
発生しません。
複雑な形状のものにも、ほぼ均一な厚みの被膜を形成することができ、
貫通穴や非貫通穴にも処理が可能です。
【特長】
■半導体→水処理コーティング、酸が強いところにも使える
■アルマイトだと剥がれるが、当加工は取れない
■熱膨張と一緒に伸びる
■硫酸アノダイズやシュウ酸アノダイズと比較して耐蝕性に優位
■処理可能サイズ1200×1000×500mm 最大重量450kg
※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報アルミ母材用酸化被膜処理『OGF処理』
【仕様】
■膜構造：無孔質膜・クラックレス
■膜厚：0.5－0.7um
■特性：アウトガス放出量が低い
※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体部品向けCVD/ALD装置に使用するシャワーヘッド、内壁板など ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログアルミ母材用酸化被膜処理『OGF処理』
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