株式会社テクニカルフィット ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」
- 最終更新日：2018-04-21 19:56:37.0
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ワークの表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。
ポリッシュ後の研磨スラリーを界面活性剤、純水によるスクラブ後、メガソニックスポットシャワーによるリンス、スピン乾燥までを行う枚葉装置。ワーク表裏面に触れずに搬送、洗浄、乾燥が可能。同時に端面のスクラブ洗浄も行います。
■表裏側面を同時に洗浄可能
■被洗浄対象ウエハ ： シリコン、石英、酸化物、化合物等
■対応ウエハ口径 ：φ2”～φ8” 厚みについては要相談
■透明ウエハにも対応
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基本情報ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 各種ウェハー洗浄 |
カタログウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」
取扱企業ウエハー洗浄装置「両面ブラシ洗浄装置（量産型）」
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