微小硬さ試験機『FISCHERSCOPE HM2000』フィッシャー・インストルメンツ

微小硬さ試験・材料パラメータ測定のためのコンピュータ制御の測定システム

『FISCHERSCOPE HM2000』は、ISO14577に準拠したマイクロレンジの
微小硬さ試験機です。

測定ヘッドHT2000を搭載し、高剛性の石製構造体と大型のプログラミング
ステージ（X軸170mm、Y軸140mm）の組み合わせで、試料の大きさを気にする
ことなく、簡易な試料調整で迅速かつ高精度なインデンテーションを行う
ことが出来ます。

【特長】
■高精度なプログラミングXYステージ
■小さい構造体でも±0.5μm（オプション）の位置決め精度で測定
■防風チャンバとアクティブ除振台を使用して除振効果（オプション）が可能
■ソフトウエアWIN-HCUによって直感的操作が可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報微小硬さ試験機『FISCHERSCOPE HM2000』

【仕様】
■測定硬さレンジ：0.01 120,000N／mm2
■荷重範囲：0.1-2,000mN
■荷重精度：≦150nN
■距離測定精度：≦10pm
■最大押し込み深さ：500μm
■マイクロスコープカメラ：総合倍率40X、200X、400X
■XYステージ（駆動サイズ）：X: 170mm、Y: 140mm
■位置決め精度：±2.0μm（±0.5μm；オプション）

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■PVD、CVDなどのドライコーティング（膜厚1µm以上） ■LCD用のスペーサーの圧縮試験 ■各種メッキ膜 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。