ケイ・エス・ティ・ワールド株式会社 SOIウェーハ『Thick-BOX SOI』【厚いBOX層!】

SOIウェーハ『Thick-BOX SOI』【厚いBOX層!】 http://www.ipros.jp/public/product/image/706/2000297211/IPROS7623463576163740776.PNG 【仕様および対応表】 ■対応サイズ:4inch~12inch ■対応機種  ・拡散炉・CVD系  ・メタル膜系  ・コート膜系  ・その他の加工  ・パターン付ウェーハ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ケイ・エス・ティ・ワールド株式会社 本社 電子部品・モジュール > 半導体・IC > ウエハー
独自技術の厚膜熱酸化膜加工を利用し、厚いBOX層を有するSOIウェーハ!

『Thick-BOX SOI』は、当社独自技術の厚膜熱酸化膜加工を利用し、厚い
BOX層を有するSOIウェーハです。加速度センサーやアクチュエーターなどSOIウェーハの埋め込み酸化膜を犠牲層としてエッチングするバルク型MEMSに有効と言われており、超高耐圧な半導体パワーデバイスを早期に実現する方法として利用されています。

【特長】
■独自技術の厚膜熱酸化膜加工を利用
■超高耐圧な半導体パワーデバイスを早期に実現可能
■バルク型MEMSに有効
■歩留まりの改善や新しい発想のデバイス開発に貢献

※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

基本情報SOIウェーハ『Thick-BOX SOI』【厚いBOX層!】

【仕様および対応表】
■対応サイズ:4inch~12inch
■対応機種
 ・拡散炉・CVD系
 ・メタル膜系
 ・コート膜系
 ・その他の加工
 ・パターン付ウェーハ

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログSOIウェーハ『Thick-BOX SOI』【厚いBOX層!】

取扱企業SOIウェーハ『Thick-BOX SOI』【厚いBOX層!】

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■半導体用、光通信用シリコンウェーハの成膜加工および各種SOIウェーハ製作 ■各種シリコンウェーハの販売 ■アグリ事業(米・玄米飲料・和紙原料販売)

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