株式会社ジャステム 半導体基板直径測定装置(DMC-03型)

Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。

直径測定値(平均直径値等)を付属パソコンにエクセル形式で保存します。

基本情報半導体基板直径測定装置(DMC-03型)

・DMC-02型より測定可能なウェーハサイズが増えました。
※3"、4"、5"、6"に対応可能です。又、多点測定や不透明、半透明にも対応可能です。
・従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測定のばらつきを抑えることができます。
・平均直径値、最大直径値、最小直径値、相対標準偏差等も算出しエクセル形式での保存が可能です。

価格帯 お問い合わせください
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型番・ブランド名 DMC-03
用途/実績例 半導体業界、研究機関への販売実績があります。

取扱企業半導体基板直径測定装置(DMC-03型)

ロゴマーク赤縦.png

株式会社ジャステム

○半導体産業向け自動機の設計・製作 →工程保証用検査装置、搬送装置など  ・厚さ測定機、厚さ仕分け機、ウェーハ搬送装置  ・ローディング・アンローディング装置、専用加工装置 →自社開発の特許技術 ○その他産業向け自動機の設計・製作 →自動車産業、エネルギー産業、医薬品産業向け  ・画像処理装置、厚さ測定機、専用加工搬送装置 →機器の開発・設計・製作

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