『KSVシリーズ』は、ICF-70用・CF-114用のシャッター機構です。
シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能な、蒸着物等に対する
ビューポート用の保護シャッターとなります。
RHEEDスクリーン、光、ビーム等の保護や遮断への応用も可能です。
また、回転導入部はマグネット駆動方式、半永久的に利用可能なほか、
各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域での使用が可能です。
その他のサイズでの製作も可能となりますので、お気軽にご相談ください。
【特長】
■シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能
■RHEEDスクリーン、光、ビーム等の保護や遮断に応用可能
■超高真空領域での使用が可能
■バタフライ方式のフルオープンタイプなので、広範囲の視界を確保
■回転部のストッパーにより、任意のオープン確度で保持が可能
■各種ビューポートに対応可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報全閉型シャッター機構『KSVシリーズ』
【ラインアップ】
■KSV-70AC:ICF-70用シャッター機構
■KSV-114AC:CF-114用シャッター機構
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ全閉型シャッター機構『KSVシリーズ』
取扱企業全閉型シャッター機構『KSVシリーズ』
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品(フランジ・継手類、他) 《PVD/CVD装置》 ◆有機EL材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機TFT開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置(MBE) (化合物半導体・窒化物・酸化物) ◆有機金属気相成長装置(CVD) 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置(FIM) ◆電子エネルギー分析システム(CMA) ◆TEMホルダー(加熱/低温) ◆UHVレーザー顕微鏡装置 ◆3次元アトムプローブ装置(3DAP)
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