微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗浄や改質ができ、良環境性と低ランニングコストを実現
バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。
全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。
【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理（円筒形処理室／等方性プラズマ）
■多様なプロセス：Ａｓｈｉｎｇ（洗浄）、Ｅｔｃｈｉｎｇ、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応（半導体製造装置として使用可能）
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置
【装置仕様】
○装置フットプリント：幅６５０×奥行８００×高さ１２６０
○処理室：φ３００×Ｌ４５０石英チャンバー
○高周波発振器：１３．５６ＭＨｚ／５００Ｗ
○処理ガス：処理ガス２系統マスフロー制御
○真空排気：ドライポンプ
○制御：オート／マニュアル操作マイコン制御
○安全仕様：非常停止スイッチ、各インターロック
○ユーテイリテイー：電源、処理ガス、ＤｒｙＡｉｒ、Ｎ2、冷却水
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 電子部品、粉体、金型、医療分野等で様々なニーズにお応えします。 ・レジストアッシング、Si02、SiN等のエッチング ・バンプ前処理／UBMメッキ前処理 ／リードフレーム洗浄 ・金属、樹脂等の表面改質（親水化／撥水化／還元）および洗浄（有機物除去） ・滅菌 ●詳しくはお問い合わせください。 |
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