樫山工業株式会社 ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

省エネ「だけじゃない」!世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現

『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた
ルーツ型ドライ真空ポンプです。

軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。

「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの
搭載も可能です。

【特長】
■プロセス耐性:ポンプ高温化、パージ増量
■消費電力0.7kW:プロセス向けルーツ型ポンプ省エネタイプ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

【ラインアップ】
■MU100P/H
■MU180P/H
■MU300P/H
■MU600P/H
■MU1200P/H
■MU20M18P/H

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■軽負荷から中負荷まで

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カタログドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

取扱企業ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

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樫山工業株式会社

○真空機器事業 ・半導体・液晶業界向け水冷ドライ真空ポンプ ・一般産業・研究用途向け空冷式ドライ真空ポンプ ・水封式ポンプ ○スキービジネス事業

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