【SiC3コーティング グラファイト】部品
【SiC3コーティング グラファイト】部品 http://www.ipros.jp/public/product/image/727/2000316476/IPROS6560518502427649730.jpg 【特長】 ■『短納期!』 最短納期(形状・数量・ご要望仕様協議の上納期回答申し上げます) ■高純度・耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる ■脱ガス量、発塵量や不純物量を低減 ■密着性にすぐれ、クラック・剥離などが起こりにくい ■コーティング厚(*ご要望承ります):最薄20μm〜最厚120μm ■膜厚均一性(*100μmの場合):最小誤差:±5μm 〜 最大誤差:±10μm ■微細形状にもコートが可能:*例)Φ1mmホール x 深さ5mmブラインドホールへのコートも可能 ■粗い表面処理から鏡面処理まで、ご要望により多彩な仕上り調整が可能です。 テルモセラ・ジャパン株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > CVD装置 SiC3コーティング お問い合わせください

基本情報【SiC3コーティング グラファイト】部品

【特長】
■『短納期!』 最短納期(形状・数量・ご要望仕様協議の上納期回答申し上げます)
■高純度・耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる
■脱ガス量、発塵量や不純物量を低減
■密着性にすぐれ、クラック・剥離などが起こりにくい
■コーティング厚(*ご要望承ります):最薄20μm〜最厚120μm
■膜厚均一性(*100μmの場合):最小誤差:±5μm 〜 最大誤差:±10μm
■微細形状にもコートが可能:*例)Φ1mmホール x 深さ5mmブラインドホールへのコートも可能
■粗い表面処理から鏡面処理まで、ご要望により多彩な仕上り調整が可能です。

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※受注後約6〜8週間

発売日

取扱い中

型番・ブランド名

SiC3コーティング

用途/実績例

エピタキシャル成長用サセプター、単結晶引き上げ装置用部品、MOCVD用サセプター・ウエハートレー・ホルダー、SiCコーティングヒーター、など。

よく使用される業種

化学、セラミックス、産業用機械、機械要素・部品、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、航空・宇宙、製造・加工受託、その他製造、教育・研究機関、鉱業、その他

取扱会社【SiC3コーティング グラファイト】部品

テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター(1〜12inch) 2. R&D用真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空用熱電対 6. 真空コンポーネント

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