テルモセラ・ジャパン株式会社 【SiC3コーティング グラファイト】部品

立方晶炭化珪素CVD-cubic coat【SiC3コーティング】カーボン

短納期! 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材
高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC(立方晶炭化珪素)コーティングカーボン部品。
MOCVD, Epitaxialプロセス等でのウエハートレー・サセプターなど。
※長寿命、密着性・均一性に優れたウエハートレーを短納期で販売致します。

※ 母材は高純度グラファイトのみとなります。
※ ご支給材料へのコーティングは行っておりませんのでご了承下さい。

基本情報【SiC3コーティング グラファイト】部品

【特長】
■『短納期!』 最短納期(形状・数量・ご要望仕様協議の上納期回答申し上げます)
■高純度・耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる
■脱ガス量、発塵量や不純物量を低減
■密着性にすぐれ、クラック・剥離などが起こりにくい
■コーティング厚(*ご要望承ります):最薄20μm〜最厚120μm
■膜厚均一性(*100μmの場合):最小誤差:±5μm 〜 最大誤差:±10μm
■微細形状にもコートが可能:*例)Φ1mmホール x 深さ5mmブラインドホールへのコートも可能
■粗い表面処理から鏡面処理まで、ご要望により多彩な仕上り調整が可能です。

価格情報 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※受注後約11〜13週間
型番・ブランド名 SiC3コーティング
用途/実績例 エピタキシャル成長用サセプター、単結晶引き上げ装置用部品、MOCVD用サセプター・ウエハートレー・ホルダー、SiCコーティングヒーター、など。

カタログ【SiC3コーティング グラファイト】部品

取扱企業【SiC3コーティング グラファイト】部品

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テルモセラ・ジャパン株式会社

【営業品目】 1. CVD・PVD真空薄膜実験用超高温基板加熱ヒーター 2. 真空薄膜実験装置 3. 超高温実験炉 4. 赤外線放射温度計 5. 真空コンポーネント 6. カスタムメイド装置

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