半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックスモメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン

シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性ガス雰囲気中などで優れた性能を発揮。

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、
急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。

PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。
超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。

PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、
その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。

【特長】
■12インチウェハ（300mmウェハ）にも対応
■超高真空・高温（1700℃※）条件で使用できる
■高温下でも高い電気絶縁性を維持できる
■靭性があるため割れにくい
■化学的に安定

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基本情報半導体製造用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス

※社内テストによる実績です。

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用途／実績例	高性能ヒータおよび静電チャック用途・急速昇降温によるウェハ熱処理・窒化物半導体の成膜・PVD （スパッタ、MBE、蒸着など）・イオン注入・ガラス加熱・真空中での高温加熱 PBN(超高純度窒化ホウ素)部品用途・真空蒸着用ルツボ・結晶成長用ルツボ・反応・焼成用容器・高温での電気絶縁部品・高温腐食性雰囲気での部品グラファイト保護コーティング用途・超高温用ヒータ・窒化物半導体成膜用部品・ウェハトレイ・高温用歯車・SiC半導体結晶成長および成膜用部品