- 蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』
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- 最終更新日：2017-09-19 17:08:39.0
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- 金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置
- アクアサイエンス株式会社
- 『BEUGA（ビューガ）』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、
多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。
高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、
金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。
原料は「水」なので、化学薬品を削減できるため、
コスト低減、環境付加の軽減にも貢献します。
【特長】
■コスト低減
■金回収率向上
■環境負荷低減
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』
【基本構成】
■蒸気発生装置
■多連式蒸気噴射音速ノズル
■EFEM（搬送系）
■制御系
■ガス・水流量制御系
■排気・排水系
【仕様】
■ウエハ口径：50-150mmΦ
■用 力：DIW、N2、CDA
■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa
■本体外形寸法：1200（W）× 1500（D）×2200（H）
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格 |
- ※お問い合わせください |
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取扱い中 |
用途／実績例 |
【対象アプリケーション】 ■金リフトオフ ■レジスト剥離 ■WAX・オイル除去 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
よく使用される業種 |
産業用機械、食品機械、民生用電気機器、産業用電気機器、光学機器、自動車・輸送機器、製造・加工受託、その他製造、情報通信業、その他 |
取扱会社蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』
【主要営業品目】 ○半導体/LED/太陽電池用 ○蒸気洗浄装置（ASTE,BEUGA,VALIUS） ○オゾン水洗浄装置（AURORA）
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