蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』 HUGパワー

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

『BEUGA（ビューガ）』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、
多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。

高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、
金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。

原料は「水」なので、化学薬品を削減できるため、
コスト低減、環境付加の軽減にも貢献します。

【特長】
■コスト低減
■金回収率向上
■環境負荷低減

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

【基本構成】
■蒸気発生装置
■多連式蒸気噴射音速ノズル
■EFEM（搬送系）
■制御系
■ガス・水流量制御系
■排気・排水系

【仕様】
■ウエハ口径：50-150mmΦ
■用力：DIW、N2、CDA
■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa
■本体外形寸法：1200（W）×　1500（D）×2200（H）

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【対象アプリケーション】 ■金リフトオフ ■レジスト剥離 ■WAX・オイル除去 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。