蒸気洗浄装置『BEUGA(ビューガ)』
蒸気洗浄装置『BEUGA(ビューガ)』 http://www.ipros.jp/public/product/image/61e/2000323771/IPROS4782239250645110163.jpg 【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径:50-150mmΦ ■用 力:DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa ■本体外形寸法:1200(W)× 1500(D)×2200(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 アクアサイエンス株式会社 本社 科学・理化学機器 > 洗浄機 > その他洗浄機

基本情報蒸気洗浄装置『BEUGA(ビューガ)』

【基本構成】
■蒸気発生装置
■多連式蒸気噴射音速ノズル
■EFEM(搬送系)
■制御系
■ガス・水流量制御系
■排気・排水系

【仕様】
■ウエハ口径:50-150mmΦ
■用 力:DIW、N2、CDA
■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa
■本体外形寸法:1200(W)× 1500(D)×2200(H)

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格

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価格帯

納期

発売日

取扱い中

用途/実績例

【対象アプリケーション】
■金リフトオフ
■レジスト剥離
■WAX・オイル除去

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

よく使用される業種

産業用機械、食品機械、民生用電気機器、産業用電気機器、光学機器、自動車・輸送機器、製造・加工受託、その他製造、情報通信業、その他

取扱会社蒸気洗浄装置『BEUGA(ビューガ)』

アクアサイエンス株式会社 本社

【主要営業品目】 ○半導体/LED/太陽電池用 ○蒸気洗浄装置(ASTE,BEUGA,VALIUS) ○オゾン水洗浄装置(AURORA)

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