可搬型膜厚プロフィル測定装置「Line-FiDiCa」のご案内 JFEテクノリサーチ

手軽に持ち運ぶことができる膜厚プロフィル測定装置をご紹介いたします

● 約140mmの線状領域の膜厚分布を1320点測定可能
　ハイパースペクトルカメラを使用した測定で、空間軸方向の画素数は1320画素と多いため、従来では考えられないほどに高精細な膜厚の分布を観測することが可能になります。
　点測定の膜厚計では読み飛ばしていた微小な膜厚変動を見逃さずに測定するため、突発的な膜厚変化を見つけられるだけではなく、その変化が発生した個所まで見つけ出すことも可能になります。

● 計算された膜厚値を連続的にグラフ表示
　1320点の膜厚値をグラフに連続表示することにより、膜厚プロフィルの作る表情を見ることができます。

● 専用の照明を必要としません
　ハイパスペクトルカメラでは通ー、常、ライン照明を用いますが、本装置は照明窓を設けて窓内の拡散板で光を拡散させるため、ライン照明を必要としません。

● 小型で軽量な装置のため簡単に持ち運びが可能
　軽量なため、持ち運びが楽で、どこででも測定できます。またネジひとつで分解できるため、さらに小型にして持ち運ぶことも可能です。

関連リンク - http://www.jfe-tec.co.jp/product/hikari/imaging-sp…

基本情報可搬型膜厚プロフィル測定装置「Line-FiDiCa」のご案内

■仕様
　型式：FDC-1000L
　膜厚：レンジ0.05μm～30μm
　分光器：イメージング分光器ImSpector（インスペクター） V10H
　測定視野幅：140mm
　測定点数：1320点
　空間分解能：106μm／画素
　測定時間：約1～10秒（測定条件により異なります）
　膜厚分解能：1nm（対象物の膜厚ムラの状況によっては1Åも可）
　膜厚測定精度：±1％または±5ｎｍの大きい方
　測定再現性：0.5％以下
　寸法：使用時：W200×D200×H300mm
　　　　分解時：W200×D100×H300mm

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納期	お問い合わせください
用途／実績例	■測定対象例・シリコンウエハ上の酸化膜や窒化膜・ガラス面上のレジスト膜・PETフィルム上の機能膜・フィルムの素材厚・金属面上の膜