ユアサエレクトロニクス株式会社 『PLマッピング装置』
- 最終更新日：2017-09-21 09:14:25.0
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フルオートメーション化可能！充実したマッピングができる装置
『PLマッピング装置』は、LED/LD生産のための2,3,4インチウェハ
のフォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定を行う装置です。
自動XYステージ、オリジナルの多機能測定ソフトウェアにより
充実したマッピングが行えます。
また、ウェハ自動供給・収納機構の接続によりフルオートメーション化
が可能です。
【特長】
■2,3,4インチウェハの測定が可能
■オプションにより1/4切断ウェハの測定も可能
■充実したマッピング
■フルオートメーション化可能
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報『PLマッピング装置』
【本体仕様】
■型式：YWafer Mapper GS4
■測定ウェハサイズ：2,3,4インチウェハ（オプションとして1/4切断対応可能）
■測定ウェハ搬送：マニュアル搬送（標準）、自動搬送（オプション）
■マッピング間隔：0.5mm～（0.1mm精度）
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ『PLマッピング装置』
取扱企業『PLマッピング装置』
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■半導体レーザ試験装置および製造装置の販売 ■LED試験装置の販売 ■バーンイン装置、長期信頼性試験装置の開発・製造・販売
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