昇温・冷却時間を短縮し高速インプリントを実現！一括転写を可能にしたプリンター
明昌機工の『NM-0606SQ』は、12インチウエハーのスピーディーな
一括転写を可能にしたナノプリンターです。
昇温・冷却時間を短縮し、高速インプリントを実現。
ナノメートル構造を精度良く転写可能なサーボプレス機となっています。
オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化する
アライナー機能を搭載できます。
【特長】
■フレキシブル条件設定
■3種類のナノインプリント機能
■アライナー機能（オプション）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ナノインプリンター『NM-0606SQ』
【仕様】
■適応基板形状
・レジスト基板：外径300mm×300mm
・モールド：300mm×300mmまで
■外径寸法：
・装置本体：1060W×1540D×2075H
・冷却水循環装置：354W×384D×851H
■重量：約850kg
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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