エルミネット株式会社 『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』 http://www.ipros.jp/public/product/image/074/2000343739/IPROS3708190622878462229.png 【仕様(一部)】 ■チェンバーサイズ ・150mmφ高さ可変,165mm-250mm ■スパッタヘッド ・低電圧平面マグネトロン ・クイックターゲット交換 ・ダークスペースシールド ・ターゲット用シャッター ■スパッタターゲット ・Cr,Pt/Pd(標準付属品) (Ta,Au,Au/Pd,PtおよびWオプション) ■スパッタ制御 ・マイクロプロセッサベース ・セーフティーインターロック ・真空系と独立した電流制御 ・デジタルで選択可能な電流(20,40,60、または80mA) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 エルミネット株式会社 測定・分析 > その他計測器 > 膜厚計
コンパクトで省エネルギー設計!導電性膜を高精度に成膜するスパッタコーター

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』は、FESEM試料の導電性膜を
高精度に成膜する信頼性の高い、クレジントン社製のスパッタコーターです。

マグネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類の
ターゲット材が選択できます。

さらに、独立した面内回転、プラネタリー軌道、および軸回転の理想的な
移動が試料全領域に均一なコーティングを可能にします。

【特長】
■多種類のターゲット材が選択可能
■正確な膜厚コントロール
■多試料ステージの移動機構
■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ
■操作真空度の広い調整範囲
■ベンチトップタイプの省スペースと省エネルギー設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

【仕様(一部)】
■チェンバーサイズ
・150mmφ高さ可変,165mm-250mm
■スパッタヘッド
・低電圧平面マグネトロン
・クイックターゲット交換
・ダークスペースシールド
・ターゲット用シャッター
■スパッタターゲット
・Cr,Pt/Pd(標準付属品)
(Ta,Au,Au/Pd,PtおよびWオプション)
■スパッタ制御
・マイクロプロセッサベース
・セーフティーインターロック
・真空系と独立した電流制御
・デジタルで選択可能な電流(20,40,60、または80mA)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■FESEM試料の導電性膜を高精度に成膜

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

取扱企業『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

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精密機械器具、電気・電子機械器具その他一般機械器具の製造、組み立て、賃貸、補修、輸出入及び販売・カスタマーサポート。

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