株式会社ムサシノエンジニアリング 『表面活性化接合タイプ常温接合装置 量産機』
- 最終更新日：2017-12-14 13:42:23.0
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ウェハーやバルクを熱を加えず接合！
当製品は、超高真空(10^-6Pa台)下で、Arビームにより接合面を活性化し、
常温・無加圧でウェハーやバルクを接合する量産機ベースの装置です。
非加熱で接合するため、生産工程の短縮・効率化に寄与します。
当社が長年培った超高真空技術を注ぎ込み、高い操作性と
メンテナンス性を達成しております。
【特長】
■非加熱のため熱膨張率の異なる材料も接合可能
■一組あたりの接合時間は約5～10分程度
■メンテナンス終了後約12時間で装置復帰
■各種材料での多数の接合実績
■生産現場での多数の納入実績
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基本情報『表面活性化接合タイプ常温接合装置 量産機』
【仕様】
■表面活性化はFABガンを採用
■スループット5～10分/1組
■UHV仕様(到達真空度10^-6Pa台)
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ『表面活性化接合タイプ常温接合装置 量産機』
取扱企業『表面活性化接合タイプ常温接合装置 量産機』
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【営業内容】 ■半導体、フラットパネルディスプレイ向け、開発及び製造装置の設計・製作 ■大学・研究開発向け、研究設備の設計・製作 ■加速器、放射光利用施設向け、各種設備及び研究装置の設計・製作 ■宇宙開発向け研究設備の設計・製作 ■医療・医療品向け、開発及び製造装置の設計・製作 ■常温接合技術を用いた常温下で種々の材料同士を直接接合または薄膜を介して接合する装置の設計・製作
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