200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用。
-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護
-PEEK材でできた差圧タブ
-メンテナンスフリーのアクチュエータ
-簡単なゲート交換
-低ショック
-コンパクトなデザイン
基本情報角型ゲート/インサート MONOVAT
開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“)
アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き
ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール
シール技術: MONOVAT機構
ゲート開口部の寸法にかかわらず、アクチュエータは共通のモジュラーシステムを採用
| 価格情報 | 要相談 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※要相談 |
| 型番・ブランド名 | 022120-BA24 |
| 用途／実績例 | 主に半導体製造装置に使用されています。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 02209-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02210-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02212-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02213-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 02241-AA24/BA24/AE24/BE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のAA24/BA24はアルミニウム、AE24/BE24はステンレススチール |
| 03209-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03210-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03212-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03213-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
| 03241-CA24/CE24 | 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※型番のCA24はアルミニウム、CE24はステンレススチール |
カタログ角型ゲート/インサート MONOVAT
取扱企業角型ゲート/インサート MONOVAT
角型ゲート/インサート MONOVATへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
