VAT株式会社 角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION http://www.ipros.jp/public/product/image/ff8/2000351290/IPROS6662741630780975865.jpg ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 x 336mm to 80 x 500mm (1.97“ x 13.23“ to 3.15“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウム シール技術: L-MOTION VAT株式会社 機械部品 > 真空機器 > 真空機器 04312-BA24
開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命化を可能に

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。
-real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化
-サービスカバーからの簡単なメンテナンス
-開または閉位置での圧空ロック機構
-パーティクルフリー、ショックフリー
-シール材に合わせてシール力を調整可能
-低ショック

基本情報角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護
開口サイズ: 50 x 336mm to 80 x 500mm (1.97“ x 13.23“ to 3.15“ x 19.69“)
アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き
ボディ材質: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウム
シール技術: L-MOTION

価格 ※要相談
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※要相談
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 04312-BA24
用途/実績例 半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用。

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。

高輝度LEDの製造にも使用。

ラインナップ

型番 概要
04312-BA24/BH24 バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
04313-BA24/BH24 バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
04331-BA24/BH24 バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
04344-BA24/BH24 バルブ 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※BA24はアルミニウム/BH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
05312-LA24/LH24 インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
05313-LA24/LH24 インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
05331-LA24/LH24 インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム
05344-LA24/LH24 インサート 圧空作動式-複動シリンダー、リミットスイッチ付き、電磁弁なし ※LA24はアルミニウム/LH24は硬質アルマイト加工アルミニウム

カタログ角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

角型ゲート/インサート L-MOTION SERIES 04.3/05.3

角型ゲート/インサート L-MOTION SERIES 04.3/05.3 表紙画像

-real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化
-パーティクルフリー、ショックフリー
-シール材に合わせてシール力を調整可能
-低ショック

取扱企業角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

Doku_CompanyBrochure_YB1426EA_WEB-1.jpg

VAT株式会社

スイスVAT社 高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTIONへのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION が登録されているカテゴリ