テクノウェーブ株式会社 卓上型蒸着装置『Mebius』

卓上型蒸着装置『Mebius』 http://www.ipros.jp/public/product/image/09e/2000352643/IPROS2131258194976826315.jpg 【性能】 ■受注後納期:概ね2.5ヶ月 ■抵抗ボート:タングステンで2700℃程度までの昇温可能 ■入力最大電流:ボートで120A時にAC100V11A程度(実績) ■蒸発可能な物質:Ni(2017年11月現在) ■ボートサイズ:幅6~10mm/厚み0.2~0.15mm 性能詳細についてはお問い合わせでご連絡を頂いた際にご相談とさせて下さい。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 テクノウェーブ株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 蒸着装置
卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

『Mebius』は、学生向けの実験や教材作りに適した、コンパクトな
蒸着装置です。

電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能。

チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを
搭載可能です。

【概要】
■蒸発源はタングステンボート2個搭載
■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合せ
■操作不要のマルチ真空ゲージ採用により、大気圧から高真空まで連続した
 圧力表示が可能
■マグネット駆動式基板シャッタ装備
■停電時は装置動作自動中断、非常停止スイッチも装備

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報卓上型蒸着装置『Mebius』

【性能】
■受注後納期:概ね2.5ヶ月
■抵抗ボート:タングステンで2700℃程度までの昇温可能
■入力最大電流:ボートで120A時にAC100V11A程度(実績)
■蒸発可能な物質:Ni(2017年11月現在)
■ボートサイズ:幅6~10mm/厚み0.2~0.15mm

性能詳細についてはお問い合わせでご連絡を頂いた際にご相談とさせて下さい。

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ卓上型蒸着装置『Mebius』

取扱企業卓上型蒸着装置『Mebius』

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テクノウェーブ株式会社

■真空応用関連装置・その他産業機器の設計(制御系の設計)/製作  ならびに組立調整真空関連機器および部品製作/組立/検査等

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