2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献
『SPE-2136A』はφ4～φ6インチウエハに対し、
残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。
自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止や
ウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。
プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、
高いスループットを実現しています。
【特長】
■1400(W)×3000(D)×1900(H)mmのコンパクト設計
■分布はウエハ内±5％以下
■SAWデバイスなどの極薄圧電ウエハにも対応
■Arプラズマクリーニングもオプションでご用意
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』
【用途例】
・各種ウエハ電子部品のレジスト除去
・後工程メッキ前の表面改質
・有機汚染除去
・樹脂材料の表面改質
【主な仕様】
◎処理方式: 自動搬送付きバッチ装置
◎排気ポンプ: ドライポンプ
◎寸法: 1400(W)×3000(D)×1900(H)mm
◎重量:1000kg
◎電源容量: AC200V(3φ)/15kVA(44)
◎真空槽サイズ(処理室): φ440×195(H)mm
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カタログプラズマクリーナー装置『SPE-2136A』
取扱企業プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』
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