過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
-高速、パーティクルフリーな動作
-正確な圧力制御
-サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）
基本情報振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
サイズ: DN 250mm
アクチュエータ: サーボドライブ付き圧力コントローラ搭載
ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム
標準フランジ: ISO-F、JIS
| 価格情報 | ※要相談 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※※要相談 |
| 型番・ブランド名 | 65548-PHHX |
| 用途／実績例 | SEMI、FPDプロセス圧力制御および真空封止用バルブ。 過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適。 |
カタログ振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
取扱企業振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
振子式コントロールバルブ SERIES 65.5へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
