『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。
熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。
また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。
【アプリケーション例】
■XHV/UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封止デバイス/MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
【仕様(一部)】
■質量範囲:100,200,300amu
■検出器タイプ:FC/EM
■イオン化エネルギー:70eV
■フィラメントタイプ:Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度:1.0 x 10-6 A/Pa以上(100amu FC Sensor)
■最小検出速度:1.8msec
■動作温度:200℃(FC),150℃(EM)
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価格 |
- ※お問い合わせください |
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価格帯 | お問い合わせください |
納期 | お問い合わせください |
発売日 | 取扱い中 |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
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『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。
熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。
また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。
【アプリケーション例】
■XHV/UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封止デバイス/MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析
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超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』の製品カタログ
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『WATMASS-MPH システム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の
技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。
弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、
リーク量(10^-17Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに!
★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★
【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量(10^-17Pa・m3/s 以下)の計測が可能
■各種受託ガス分析も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。PDFダウンロード [PDF:2MB]このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら
超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH』
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『WATMASS-MPH システム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の
技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。
弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、
リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに!
★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★
【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能
■各種受託ガス分析も可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。PDFダウンロード [PDF:549KB]このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら
取扱企業超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』
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