東京電子株式会社 超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

『WATMASS』は、10-7～10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅（ICF70）を低輻射／高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム（Pt-Ir）合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV／UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析（TDS／Out Gas）
■封止デバイス／MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『WATMASS－MPH システム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の
技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、
リーク量（10＾-17Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！

★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量（10＾-17Pa・m3/s 以下）の計測が可能
■各種受託ガス分析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『WATMASS－MPH システム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材（0.2% BeCu合金）の
技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、
リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！

★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能
■各種受託ガス分析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。