東京電子株式会社 超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』 http://www.ipros.jp/public/product/image/fb0/2000358977/IPROS7307491495216928794.png 【仕様(一部)】 ■質量範囲:100,200,300amu ■検出器タイプ:FC/EM ■イオン化エネルギー:70eV ■フィラメントタイプ:Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度:1.0 x 10-6 A/Pa以上(100amu FC Sensor) ■最小検出速度:1.8msec ■動作温度:200℃(FC),150℃(EM) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 東京電子株式会社 測定・分析 > 分析機器 > 分析機器・装置
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能!

『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV/UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封止デバイス/MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

【仕様(一部)】
■質量範囲:100,200,300amu
■検出器タイプ:FC/EM
■イオン化エネルギー:70eV
■フィラメントタイプ:Y2O3-Ir デュアルフィラメント
■感度:1.0 x 10-6 A/Pa以上(100amu FC Sensor)
■最小検出速度:1.8msec
■動作温度:200℃(FC),150℃(EM)

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価格 -
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発売日 取扱い中
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カタログ超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』 表紙画像

『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように
イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。

熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を低輻射/高熱伝導の0.2%BeCu製を採用することで、
低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅に低減します。

また、グリッドを白金イリジウム(Pt-Ir)合金で製作することで、ESDガス放出を低減。
電気炉による徹底した低ガス化処理にて水素の排出および、酸化Be層を形成します。

【アプリケーション例】
■XHV/UHVの高精度なガス分析
■表面分析
■半導体デバイスの劣化とガス放出
■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析
■微量ガス分析(TDS/Out Gas)
■封止デバイス/MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3/sレベルのリーク試験
■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』の製品カタログ

超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』の製品カタログ 表紙画像

『WATMASS-MPH システム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の
技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、
リーク量(10^-17Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに!

★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量(10^-17Pa・m3/s 以下)の計測が可能
■各種受託ガス分析も可能

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超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH』

超高感度 質量ガス分析装置『WATMASS-MPH』 表紙画像

『WATMASS-MPH システム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の
技術を組み合わせた新しい発想のガス分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、
リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに!

★デバイス評価・材料評価など各種受託ガス分析も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能
■各種受託ガス分析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取扱企業超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

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