東京電子株式会社 超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの封止デバイス内の超微量リーク検査に!

『WATMASS-MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計
「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の
技術を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。

弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS-MPH システム』では破壊及び、
リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能です。
MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに!

★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析(ガス分析)も承ります★

【特長】
■超高感度 0.2%BeCu合金製ガス分析装置
■産総研殿の測定精度評価を取得
■破壊及び、リーク量(10^-15Pa・m3/s 以下)の計測が可能
■各種受託質量分析も可能

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基本情報超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム

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用途/実績例 【用途】
■MEMS
■ライフサイエンスデバイス
■半導体
■電子部品
              など

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カタログ超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム

取扱企業超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム

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○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ  ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計  ・真空ポンプ用電源  ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器

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