小型・低価格な実験用レーザーリフトオフ装置。フレキシブルディスプレイの試作、材料開発に！
『LSL-10』は、固体UVパルスレーザでラインビームを形成しワーク上の
基板をステージで動かし、全面にLLOプロセスを行うための実験装置です。
LLOはガラスやサファイアなどレーザ光を透過する基板を用いて
レーザ照射により瞬間的に界面の剥離が可能です。
当装置は、小型・低価格でキャスターによる移動が可能。
クラス4の安全対策を実現しています。
【特長】
■小型・低価格（キャスターにより移動可能）
■AC100V電源のみで使用できる
■クラス4の安全対策（光路/摺動部遮蔽・インターロック）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報実験用固体UVレーザLLO装置『LSL-10』※デモ機貸出
【仕様】
■波長：355nm
■ラインビームサイズ：10mm×1mm
■照射エネルギー密度：25～250mJ/cm2（バリアブルアッテネータ）
■ワークサイズ(mm)：最大150×150、オプション G2（370×470）
■処理能力：約5分（100×100基板）
■ステージストローク：200mm×200mm
■装置サイズ（mm）：L1200×W900×H1500
■ユーティリティ：AC100V±10％ 15A
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | 【活用状況】 ■フレキシブルディスプレイ後工程 ■LED製造 ■極薄シリコンウエハ工程 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ実験用固体UVレーザLLO装置『LSL-10』※デモ機貸出
取扱企業実験用固体UVレーザLLO装置『LSL-10』※デモ機貸出
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