VAT株式会社 バタフライコントロールシステム Series 61.2

バタフライコントロールシステム Series 61.2 http://www.ipros.jp/public/product/image/48f/2000360809/IPROS8916269916086506107.png サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-KF、ISO-F リーク量: バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls -1 使用圧力範囲: 1 × 10 -8 mbar~1.2 bar (abs) 第一回サービスまでのサイクル数: 二百万回 取付け方向: 自由(ポンプ側のシャフト取付けを推奨) VAT株式会社 機械部品 > 真空機器 > 真空機器 Series 61.2
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力
-サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出)
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)
-コンタミの多いプロセスへの優れた適応性

基本情報バタフライコントロールシステム Series 61.2

サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“)

アクチュエータ: 搭載型コントローラ

ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール

軸シール: 回転軸シール

標準フランジ: ISO-KF、ISO-F

リーク量: バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls -1

使用圧力範囲: 1 × 10 -8 mbar~1.2 bar (abs)

第一回サービスまでのサイクル数: 二百万回

取付け方向: 自由(ポンプ側のシャフト取付けを推奨)

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発売日 取扱い中
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型番・ブランド名 Series 61.2
用途/実績例 SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。特に高速で高度なプロセスに最適 例: CVD

ラインナップ

型番 概要
61228-KAGG DN25 ISO-KF アルミニウム
61232-KAGG DN40 ISO-KF アルミニウム
61234-KAGG DN50 ISO-KF アルミニウム
61236-PAGG DN63 ISO-F アルミニウム
61238-PAGG DN80 ISO-F アルミニウム
61240-PAGG DN100 ISO-F アルミニウム
61244-PAGG DN160 ISO-F アルミニウム
61246-PAGG DN200 ISO-F アルミニウム
61248-PAGG DN250 ISO-F アルミニウム
61228-KEGG DN25 ISO-KF ステンレススチール
61232-KEGG DN40 ISO-KF ステンレススチール
61234-KEGG DN50 ISO-KF ステンレススチール
61236-PEGG DN63 ISO-F ステンレススチール
61238-PEGG DN80 ISO-F ステンレススチール
61240-PEGG DN100 ISO-F ステンレススチール
61244-PEGG DN160 ISO-F ステンレススチール
61246-PEGG DN200 ISO-F ステンレススチール
61248-PEGG DN250 ISO-F ステンレススチール

カタログバタフライコントロールシステム Series 61.2

バタフライコントロールシステム SERIES 61.2

バタフライコントロールシステム SERIES 61.2 表紙画像

-優れた圧力制御能力
-サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出)
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用)
-コンタミの多いプロセスへの優れた適応性

取扱企業バタフライコントロールシステム Series 61.2

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VAT株式会社

スイスVAT社 高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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