VAT株式会社 大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8 http://www.ipros.jp/public/product/image/3d6/2000360822/IPROS5075250035812975135.png 開口サイズ 50 × 500 mm~100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ~ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤1 bar バルブ開方向: ≤10 mbar (optional 1 bar) バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤1.2 s(開口サイズ80x 1500 mm) 取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向 リミットスイッチ 電圧: 10 -30 V DC PNP(NPN optional) VAT株式会社 機械部品 > 真空機器 > 真空機器 Series 06.8 要相談
短い開閉時間による高いスループット

-保有コストが低い
-短い開閉時間による高いスループット
-お客様指定のデザイン

基本情報大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8

開口サイズ
50 × 500 mm~100 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“ ~ 3.94“ × 118.11“)

アクチュエータ
圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き

ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール

軸シール: 回転軸シール

リーク量
バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1
バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1

ゲートにかけ得る許容最大差圧
バルブ閉方向: ≤1 bar
バルブ開方向: ≤10 mbar (optional 1 bar)

バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar

第一回サービスまでのサイクル数: 百万回

開/閉時間: ≤1.2 s(開口サイズ80x 1500 mm)

取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向

リミットスイッチ
電圧: 10 -30 V DC PNP(NPN optional)

価格 要相談
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発売日 取扱い中
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型番・ブランド名 Series 06.8
用途/実績例 PVセルおよび大型成膜装置用。多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。

カタログ大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8

取扱企業大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8

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スイスVAT社 高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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