VAT株式会社 振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

振子式バルブコントロールシステム Series 65.0 http://www.ipros.jp/public/product/image/ea6/2000360850/IPROS4195050713144645534.png サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JIS リーク量 バルブボディ アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-5 mbar ls-1 リーク量 バルブシート アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-4 mbar ls-1 使用圧力範囲 アルミニウム: < 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs) アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-6 mbar~1.2 bar (abs) 第一回サービスまでのサイクル数 圧力制御: 百万回 閉/開: 200,000 軸シール アクチュエータ: 回転軸シール シーリングリング: Oリング軸シール VAT株式会社 機械部品 > 真空機器 > 真空機器 Series 65.0 要相談
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作
-極めて短い制御応答時間
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX2接続用)

基本情報振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“)

アクチュエータ: 搭載型コントローラ

ボディ材質
アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工

軸シール: 回転軸シール

標準フランジ: ISO-F、JIS

リーク量
バルブボディ
アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1
アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-5 mbar ls-1

リーク量
バルブシート
アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1
アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-4 mbar ls-1

使用圧力範囲
アルミニウム: < 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-6 mbar~1.2 bar (abs)

第一回サービスまでのサイクル数
圧力制御: 百万回
閉/開: 200,000

軸シール
アクチュエータ: 回転軸シール
シーリングリング: Oリング軸シール

価格 要相談
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※要相談
型番・ブランド名 Series 65.0
用途/実績例 SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ

ラインナップ

型番 概要
65040-PAGG DN100 ISO-F アルミニウム
65044-PAGG DN160 ISO-F アルミニウム
65046-PAGG DN200 ISO-F アルミニウム
65048-PAGG DN250 ISO-F アルミニウム
65050-PAGG DN320 ISO-F アルミニウム
65052-PAGG DN400 ISO-F アルミニウム
65040-JAGG DN100 JIS保守用フランジ アルミニウム
65044-JAGG DN160 JIS保守用フランジ アルミニウム
65046-JAGG DN200 JIS保守用フランジ アルミニウム
65048-JAGG DN250 JIS保守用フランジ アルミニウム
65050-JAGG DN320 JIS保守用フランジ アルミニウム
65051-JAGG DN350 JIS保守用フランジ アルミニウム
65052-JAGG DN400 JIS保守用フランジ アルミニウム
65040-PHGG DN100 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工
65044-PHGG DN160 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工
65046-PHGG DN200 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工
65048-PHGG DN250 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工
65050-PHGG DN320 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工
65052-PHGG DN400 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工
65040-JHGG DN100 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工
65044-JHGG DN160 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工
65046-JHGG DN200 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工
65048-JHGG DN250 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工
65050-JHGG DN320 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工
65051-JHGG DN350 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工
65052-JHGG DN400 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工

カタログ振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

取扱企業振子式バルブコントロールシステム Series 65.0

Doku_CompanyBrochure_YB1426EA_WEB-1.jpg

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スイスVAT社 高真空バルブ、超高真空バルブ、オールメタルバルブの輸入及び販売。

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