特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ
-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作
-極めて短い制御応答時間
-サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX2接続用)
基本情報振子式バルブコントロールシステム Series 65.0
サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“)
アクチュエータ: 搭載型コントローラ
ボディ材質
アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工
軸シール: 回転軸シール
標準フランジ: ISO-F、JIS
リーク量
バルブボディ
アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1
アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-5 mbar ls-1
リーク量
バルブシート
アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1
アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-4 mbar ls-1
使用圧力範囲
アルミニウム: < 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs)
アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1 × 10-6 mbar~1.2 bar (abs)
第一回サービスまでのサイクル数
圧力制御: 百万回
閉/開: 200,000
軸シール
アクチュエータ: 回転軸シール
シーリングリング: Oリング軸シール
価格情報 | 要相談 |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※要相談 |
型番・ブランド名 | Series 65.0 |
用途/実績例 | SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ |
ラインナップ
型番 | 概要 |
---|---|
65040-PAGG | DN100 ISO-F アルミニウム |
65044-PAGG | DN160 ISO-F アルミニウム |
65046-PAGG | DN200 ISO-F アルミニウム |
65048-PAGG | DN250 ISO-F アルミニウム |
65050-PAGG | DN320 ISO-F アルミニウム |
65052-PAGG | DN400 ISO-F アルミニウム |
65040-JAGG | DN100 JIS保守用フランジ アルミニウム |
65044-JAGG | DN160 JIS保守用フランジ アルミニウム |
65046-JAGG | DN200 JIS保守用フランジ アルミニウム |
65048-JAGG | DN250 JIS保守用フランジ アルミニウム |
65050-JAGG | DN320 JIS保守用フランジ アルミニウム |
65051-JAGG | DN350 JIS保守用フランジ アルミニウム |
65052-JAGG | DN400 JIS保守用フランジ アルミニウム |
65040-PHGG | DN100 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65044-PHGG | DN160 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65046-PHGG | DN200 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65048-PHGG | DN250 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65050-PHGG | DN320 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65052-PHGG | DN400 ISO-F アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65040-JHGG | DN100 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65044-JHGG | DN160 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65046-JHGG | DN200 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65048-JHGG | DN250 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65050-JHGG | DN320 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65051-JHGG | DN350 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
65052-JHGG | DN400 JIS保守用フランジ アルミニウム、硬質アルマイト加工 |
カタログ振子式バルブコントロールシステム Series 65.0
取扱企業振子式バルブコントロールシステム Series 65.0
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