高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4 VAT

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

-アングルおよびインラインボディ
-ベローズ軸シール
-大きな差圧対応
-長いサイクルライフ

基本情報高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

リーク量
バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1

使用圧力範囲
DN 10-50: 1 × 10-8 mbar～ 5 bar (abs)
DN 63-80: ～4 bar (abs)
DN 100-160: ～2 bar (abs)

ゲートにかけ得る許容最大差圧
バルブ開方向
DN 10-50: ≤ 2.0 bar
DN 63-160: ≤ 1.2 bar

バルブ閉方向
DN 10-50: ≤ 5.0 bar
DN 63-80: ≤ 4.0 bar
DN 100-160: ≤ 2.0 bar

バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar

第一回サービスまでのサイクル数
手動アクチュエータ
DN 10-80: 10,000
DN 100-160: 10,000

開/閉スプリング
DN 10-80: 三百万回
DN 100-160: 百万回

複動シリンダー
DN 100-160: 百万回

軸シール: ベローズ

取付け方向: 自由

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型番・ブランド名	Series 26.4
用途／実績例	高真空アプリケーションの排気、ベント用