治具を使用しないめっき装置。取付の煩雑さ、治具部品の劣化によるめっき不良の解消だけでなく、良品歩留まり率が大幅に向上!
現状のウエハーめっき装置は垂直型が主流であり、
メッキを行う装置に付属している治具の使い勝手が悪く、下記のような課題が多く聞かれます。
・メッキ液に浸食されてパーツを常に交換しなくてはならない。
・通電が悪くメッキが不良になる。
・ウェハーのセットに時間がかかる構造で、作業がスムーズに進まない。
・持ち運びしにくく、効率的な動きがしにくい。
更に、今後増加するハイアスペクト対応(金属イオンの供給、均一液流)や均一膜厚性向上による、生産効率の向上が求められています。
当社の『ウエハーめっき装置』は治具レス・水平・上向きのため、従来製品の課題を解消することが可能です。
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基本情報治具レス!『ウエハーめっき装置』
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