耐摩耗性に優れた固体潤滑膜が簡単に製膜できるプラズマイオンDLC装置!
『プラズマイオンDLC装置』は、自動車部品(ギア,ピストン,軸受等)、
切削工具(ドリル,エンドミル)、丸のこ、ハサミ等の表面改質に使用可能な
装置です。
原料であるベンゼンやTMSはポータブルボンベにて供給でき、
設置場所を選びません。
【特長】
■耐摩耗性に優れた固体潤滑膜が簡単に製膜可能
■スタイリッシュなデザイン
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基本情報『プラズマイオンDLC装置』
【仕様】
■DLCイオン源
・熱フィラメント型イオン源(自社オリジナル)
■真空性能
・到達圧力:3.3×10-4Pa以下
・排気系:油拡散ポンプ+ロータリーポンプ
■基板加熱機構
・シースヒーター(標準装備)
・ランプヒーター(オプション)
■基板ホルダー
・自公転治具(オプション)
■装置制御
・グラフィックパネルによる操作
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ『プラズマイオンDLC装置』
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