神港精機株式会社 【大学・研究機関向け】研究・開発用真空装置

【大学・研究機関向け】研究・開発用真空装置 http://www.ipros.jp/public/product/image/6a6/2000371869/IPROS488513847926782251.jpg 装置導入検討ための試作にも対応しております。 【試作対応機器】 ■ 抵抗加熱+電子ビーム蒸着装置(磁性体にも対応) ■ マグネトロンスパッタリング装置(高配向AlN等、基板温度600℃対応) ■ エッチング・アッシング装置(表面改質、濡れ性他) ■ ICPプラズマエッチング装置(深堀りエッチング) ■ アーク放電型イオンプレーティング装置(イオン窒化、TiN、TiC等) ■ 真空はんだ付け装置(パワーデバイス向け接合-信頼度No.1) ■ Vapor Phase Reflow Soldering (新技術) など ※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。 神港精機株式会社 東京支店 機械部品 > 真空機器 > 真空機器
各種オプションを御用意!御要望の仕様にカスタマイズ!装置導入検討ための試作にも対応!試作のみの御依頼も歓迎します。

神港精機は1951年、高品質な真空ポンプの自社開発に成功、これにより世界をリードする真空機器メーカーへと成長しました。現在では真空諸装置、精密電気炉、半導体・医療用機器などの製造販売まで事業を拡充、今後は海外拠点開設を視野に、さらなる事業展開を図っていきます。

【販売装置】少量、小型化の対応もしております。
■ 成膜~エッチング
  半導体製造・プロセス開発。MEMSデバイス。
■ 表面改質
  金属金型表面の硬質化。濡れ性の改善。金属粒子。
■ プラズマ源等の搭載
  新規デバイスの開発。低温、反応性、高密度プラズマ。
■ 熱処理
  真空はんだ付けによるボイドの低減。膜の結晶性の改善。
■ 低温プロセス
  有機EL。フィルムデバイスへの対応。



※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

基本情報【大学・研究機関向け】研究・開発用真空装置

装置導入検討ための試作にも対応しております。

【試作対応機器】
■ 抵抗加熱+電子ビーム蒸着装置(磁性体にも対応)
■ マグネトロンスパッタリング装置(高配向AlN等、基板温度600℃対応)
■ エッチング・アッシング装置(表面改質、濡れ性他)
■ ICPプラズマエッチング装置(深堀りエッチング)
■ アーク放電型イオンプレーティング装置(イオン窒化、TiN、TiC等)
■ 真空はんだ付け装置(パワーデバイス向け接合-信頼度No.1)
■ Vapor Phase Reflow Soldering (新技術)
など

※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

価格 -
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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
用途/実績例 各大学・官公庁様に多数の納入実績あり。
よく使用される業種 セラミックス、機械要素・部品、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、航空・宇宙、IT・情報通信、医療機器

カタログ【大学・研究機関向け】研究・開発用真空装置

神港精機試作支援システムの御案内

神港精機試作支援システムの御案内 表紙画像

神港精機所有試作機の一覧をご覧いただくことができます。

Siウエハ、ディスプレー用透明基板、金属金型、工具、デバイスチップ等様々なものに対して処理を行います。

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取扱企業【大学・研究機関向け】研究・開発用真空装置

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神港精機株式会社 東京支店

真空ポンプ・薄膜形成装置・・投影機・プラズマ装置・精密電気炉の製造、販売を行っております。

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