日邦プレシジョン株式会社 テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』
- 最終更新日：2018-06-28 15:11:39.0
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『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した
新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により
不透明な材料の測定に適しています。
4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、
半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。
電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に
位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを
解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の
周波数依存性を得ることができます。
【特長】
■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
■液体試料も測定可能
■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載
■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』
【仕様】
■測定方式：THz Time-Domain Ellipsometry
■計測信号：電場強度の時間波形
■出力データ：エリプソメトリックパラメータ、
複素屈折率/ 誘電率/電気伝導度（解析プログラム使用)
■試料配置：水平配置（測定面：上面）
■測定帯域：0.5 ～ 3 THz 以上（標準試料による出力範囲）
■フェムト秒パルスレーザ
・中心波長 780～800 nm 付近、パルス幅 100fs以下（※外部からの導入も可能）
■制御用PC
・Windows 7(32bit 版) の動作条件を満たすコンピュータ
・Tera Evaluator との接続に有線LAN が1 ポート、USBが2ポート以上必要
■ソフトウェア：測定用ソフトウェア、解析用ソフトウェア
■外形寸法/ 重量：732(W)×585(D)×500(H)mm、約85kg（※配線、突起等は含まない）
■電源：AC100 V（50/60 Hz）10A（但し、レーザー用に別系統の電源を推奨）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログテラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』
取扱企業テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』
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○半導体製造装置、検査装置及び液晶パネル表示装置の設計・製造 ○同上周辺装置の設計・製作及び関連機器の製造 ○電子応用精密機器、計測装置及びメカトロ製品の設計・製造 ○各種検査システム及び搬送システムの開発・設計 ○磁性材料、セラミック、炭素繊維その他新素材の販売 ○アプリケーションソフトウェアの設計 ○赤外線分光装置及びテラヘルツ分光分析装置の設計・製作
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