三愛プラント工業株式会社 電解研磨『Electro-polishing_EP』

電解研磨『Electro-polishing_EP』 http://www.ipros.jp/public/product/image/7a5/2000386787/IPROS6622616853312234870.jpg 【適用材種】 ■ステンレス鋼:SUS304(L),SUS316(L),SUS303,SUS310,SCS13,SCS14 ■その他金属:モリブデン,タングステン,インコネル600,ハステロイ C-22 【電解研磨(EP)適用事例】 (1)ステンレス製チャンバー (2)CVDガス供給ライン用配管(EP管)[一部] ■呼び径:1/8” 外径/mm:3.18  全長 /mm:2000 ■呼び径:1/4” 外径/mm:6.35  全長 /mm:4000 ■呼び径:3/8” 外径/mm:9.53  全長 /mm:4000 ■呼び径:1/2” 外径/mm:12.7  全長 /mm:4000 ■呼び径:5/8” 外径/mm:15.88  全長 /mm:4000 ■呼び径:3/4” 外径/mm:19.05  全長 /mm:4000 (3)CVDガス供給ライン用継手 【特長】 ■平滑化,酸化皮膜の形成 ■真空特性の向上 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > ウエハ加工/研磨装置
精密洗浄(SMC)では除去できない汚れを除去!高い清浄度で製品をお届けします!

当社の電解研磨『Electro-polishing_EP』は、電解液中で処理物に直流電流を流し、電気化学作用で金属表面を研磨することで、精密洗浄(SMC)では除去できない汚れ(酸化スケールや表面に突き刺さった切削屑、研磨砥粒)を除去し、さらに、表面を滑らかにし、"真の表面積"を低減させるとともに均一な酸化被膜(不動態被膜)を形成し、内部溶存気体の放出を防ぐとともに耐食性を向上させます。

例えば、半導体装置に使用するパイプにおいては内面をサブミクロンまで鏡面化し、その後に超純水、高純度ガス、クリーンルームなどを駆使して精密洗浄を行なう処理技術です。
また、この技術は新材料のEP化にも応用され、現在では耐食合金のEPをはじめ、ロケット、深海、超真空、医学、バイオなどのあらゆる装置に活用され、その質の高さはこれらのハイテク業界で数々の注目を集めています。

もちろん処理後の洗浄は精密洗浄(SMC)。高い洗浄度で製品をお届けします。



※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報電解研磨『Electro-polishing_EP』

【適用材種】
■ステンレス鋼:SUS304(L),SUS316(L),SUS303,SUS310,SCS13,SCS14
■その他金属:モリブデン,タングステン,インコネル600,ハステロイ C-22


【電解研磨(EP)適用事例】
(1)ステンレス製チャンバー

(2)CVDガス供給ライン用配管(EP管)[一部]
■呼び径:1/8” 外径/mm:3.18  全長 /mm:2000
■呼び径:1/4” 外径/mm:6.35  全長 /mm:4000
■呼び径:3/8” 外径/mm:9.53  全長 /mm:4000
■呼び径:1/2” 外径/mm:12.7  全長 /mm:4000
■呼び径:5/8” 外径/mm:15.88  全長 /mm:4000
■呼び径:3/4” 外径/mm:19.05  全長 /mm:4000

(3)CVDガス供給ライン用継手


【特長】
■平滑化,酸化皮膜の形成
■真空特性の向上

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格 -
※お問い合わせください
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
用途/実績例 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

詳細情報電解研磨『Electro-polishing_EP』

電解研磨(EP)適用事例

ステンレス製チャンバー

電解研磨(EP)適用事例

ステンレス製チャンバー

取扱企業電解研磨『Electro-polishing_EP』

三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部

化学研磨、電解研磨、精密洗浄(SMC) : 材種によって最適な洗浄方法で清浄性を達成します。表面処理(化学研磨・電解研磨)を組合せることで、より高品質な真空環境の達成を可能とします。 材種に最適な脱脂・洗浄処理を行い純水洗浄後、クラス1000クリーンルーム内で露点管理された窒素でブロー・包装し、お客様の元にお届けいたします。 精密再生洗浄(RMC) : 長年の経験と薬液に対する知識から様々な付着物を除去。部材の再使用を可能にします。また、汚染された部品を廃棄する際の無害化も請負います。 除錆、防錆、酸洗浄 : 日本最大級の洗浄槽を駆使し、多種多様な化学洗浄に対応します。表面処理剤には、毒性が無く除錆とリン酸鉄皮膜化成が同時に行える「アポリーA400」を使用しています。廃液の発生量を大幅に抑えることができ、環境保全に貢献します。 出張洗浄工事 : 近年、自然災害に見舞われることの多い日本。津波や土砂災害で被害を受けた発電所の洗浄工事を行いました。その他、工場の配管ラインやタンクの洗浄もお任せください。

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