三愛プラント工業株式会社 再生精密洗浄『RMC(再生精密洗浄)』

再生精密洗浄『RMC(再生精密洗浄)』 http://www.ipros.jp/public/product/image/2aa/2000386808/IPROS5228607831401560787.jpg 【RMC処理実績】 ■付着物:金属,金属酸化物,金属窒化物,半金属,半導体,フッ化物,シラン系物質等 ■母材:ステンレス,アルミ,チタン,モリブデン,タングステン,タンタル,石英, 樹脂,セラミックス等 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部 科学・理化学機器 > 洗浄機 > その他洗浄機
防着板などに付着した皮膜を母材への負荷を最小限にして剥離再生し精密洗浄を施します!

 半導体プロセスにおけるCVDやPVDの成膜装置には汚染防止目的で防着板が使用されていますが、防着板自体に付着した被膜が応力により剥離することでパーティクルの発生源になってしまいます。
その為、一定期間使用後は新しく交換しなければなりませんが、新品交換にはコストや納期の問題があり、使用済み品の廃棄は環境面においても好ましくありません。

 そこで、当社の提案する再生精密洗浄『RMC(Renewal Micro Cleaning)』によって、付着した被膜を豊富な経験に基づいた処理により母材への負荷を最小限にして剥離再生を行い、更に精密洗浄(SMC)を施して新品同様の状態に戻しリニューアル致します。
また、剥離後は電解研磨や化学研磨などの表面処理も適用できます。

防着板のみならず、ガス供給ライン等の設備を廃棄する際の無害化処理も対応可能です。

『再生精密洗浄』は付着物と母材の組み合わせにより使用薬液(酸・アルカリ等)やブラスト等の物理処理が異なってきます。付着物と母材の情報を頂ければ、好適な処理方法をご提案させて頂きます。

基本情報再生精密洗浄『RMC(再生精密洗浄)』

【RMC処理実績】
■付着物:金属,金属酸化物,金属窒化物,半金属,半導体,フッ化物,シラン系物質等
■母材:ステンレス,アルミ,チタン,モリブデン,タングステン,タンタル,石英,
樹脂,セラミックス等

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格 -
※お問い合わせください
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
よく使用される業種 鉄/非鉄金属、産業用機械、食品機械、機械要素・部品、産業用電気機器、自動車・輸送機器、製造・加工受託、その他製造、その他

詳細情報再生精密洗浄『RMC(再生精密洗浄)』

ステンレス製チャンバー

 

アルミナ製部品

 

排気管

 

バルブ

 

セラミックス製部品

 

取扱企業再生精密洗浄『RMC(再生精密洗浄)』

三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部

化学研磨、電解研磨、精密洗浄(SMC) : 材種によって最適な洗浄方法で清浄性を達成します。表面処理(化学研磨・電解研磨)を組合せることで、より高品質な真空環境の達成を可能とします。 材種に最適な脱脂・洗浄処理を行い純水洗浄後、クラス1000クリーンルーム内で露点管理された窒素でブロー・包装し、お客様の元にお届けいたします。 精密再生洗浄(RMC) : 長年の経験と薬液に対する知識から様々な付着物を除去。部材の再使用を可能にします。また、汚染された部品を廃棄する際の無害化も請負います。 除錆、防錆、酸洗浄 : 日本最大級の洗浄槽を駆使し、多種多様な化学洗浄に対応します。表面処理剤には、毒性が無く除錆とリン酸鉄皮膜化成が同時に行える「アポリーA400」を使用しています。廃液の発生量を大幅に抑えることができ、環境保全に貢献します。 出張洗浄工事 : 近年、自然災害に見舞われることの多い日本。津波や土砂災害で被害を受けた発電所の洗浄工事を行いました。その他、工場の配管ラインやタンクの洗浄もお任せください。

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