一般財団法人材料科学技術振興財団 MST [C-SAM]超音波顕微鏡法

C-SAMは、試料の内部にある剥離などの欠陥を非破壊で観察する手法です。

C-SAMは、SAT:Scanning Acoustic Tomographyとも呼ばれます。

・X線CTによる観察では確認が困難な「電極の接合状態」や「貼り合わせウエハの密着性」などの確認に有効。
・反射波のほか、透過波の取得も可能。

基本情報[C-SAM]超音波顕微鏡法

音波を用いることから試料の光学的な性質に左右されず、試料表面だけでなく、表面下の内部構造も非破壊で観察する事が可能です。空気との界面での反射が大きいことから、電子部品のパッケージ内部などに存在する空隙やクラックを高感度で観察できます。空隙箇所の判定は、各測定箇所における超音波の反射波形から判定します。

価格情報 測定対象によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ・半導体パッケージ品の欠陥調査
・電子部品内部の欠陥調査
・ シリコンウエハ貼り合わせ界面の空孔調査
・金属板の貼りあわせ界面の密着性調査
・面実装LEDの欠陥調査
・接着剤・粘着テープなどの密着性調査
・セラミックス材料の空孔調査

※いずれの試料も耐水性が必要となります。

詳細情報[C-SAM]超音波顕微鏡法

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取扱企業[C-SAM]超音波顕微鏡法

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一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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