インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon（R）』日本エム・ケー・エス

NF3最大流量8slm、独自のPEOプラズマブロック設計によりプロセス性能と寿命を向上！

「Paragon（R）」は、量産実績のあるMKS低磁場トロイダルプラズマ源の特性を基に、次世代ナノプロセス開発と製造に、より適したデータ転送と制御性を実現しました。
CVDおよびALD／ALEプロセスチャンバークリーニングに対応し、8slmのNFガス流量および最大10Torrの圧力条件においても高い分析効率（＞98％）が得られます。

【特長】
■NF最大流量8slm、コンパクトな設計でクリーニング時間短縮
■PEOコーティングを採用した独自のプラズマブロック設計により、プロセス性能と寿命を向上
■RoHS適合、CE、S2、F47

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon（R）』

【仕様】
■プロセスガス供給&排気
ガス供給接続KF40：排気接続KF50
■接ガス部材料
PEOコーティング、6061-T6アルミニウム、Chemraz（R）、アルミナ
■制御インターフェース
EtherCATおよびアナログI／O　Dサブ　25ピン

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取扱企業インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon（R）』

日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。