モニタリング装置『MultiGas TFS Monitor』日本エム・ケー・エス

排出ガス組成変化を素早く検出する連続測定が可能！微量ガスモニタリング装置

『MultiGas TFS Monitor』は、19インチラック型、オンライン、
複数ガス対応、微量ガスモニタリング装置です。

高い選択性と安定測定を可能にするTunable Filter分光法技術を使用。
従来の分析手法に代わり、微量炭化水素、水分、CO、CO2、N2Oの
低コストで高性能な分析を可能にします。

さらに、恒久校正機能により高価な校正用基準ガスが不要になります。

【特長】
■高い分析性能
■低検出限界、高安定性、広範囲のリニアリティ
■複雑な設定、インストール作業を軽減するintegration-readyシステム
■恒久校正機能により高価な校正用基準ガスが不要
■低COO(コストオブオーナーシップ)、インストールとメンテナンスが容易

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.mksinst.com/Intl/JP1.aspx

基本情報モニタリング装置『MultiGas TFS Monitor』

【その他の特長】
■排出ガス組成変化を素早く検出する連続測定
■従来のFTIRのようなマルチ・アナライザ方式からの置換えで、
　コストおよびインフラ要求事項を削減

【産業】
■空気分離施設
■バルク＆特殊ガス
■炭化水素処理
■半導体
■排気ガス/CEM

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用途／実績例	【アプリケーション】 ■不純物モニター ■プロセス安全監視 ■製品品質分析 ■プロセスモニター/コントロール ■排ガスモニター/コントロール ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業モニタリング装置『MultiGas TFS Monitor』

日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。