ビューラー株式会社 精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400/1600

ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

世界最大の真空装置・機器メーカーとして160年近い歴史を持つライボルトオプティクスは、業界のリーダーとして長年の経験を有し、高精度な光学コーティングを実現するための真空薄膜製造装置およびプロセスを提供しています。研究開発用途から大量生産の大型設備まで様々な真空チャンバーサイズを取り揃え、お客様の多様なニーズにお応えいたします。

基本情報精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400/1600

ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。
搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3% の範囲内で膜厚分布を実現いたします。

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型番・ブランド名 精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS
用途/実績例 高出力レーザーミラー DWDM, CWDM フィルタ、等

取扱企業精密光学用イオンビームスパッター装置 IBS1400/1600

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ビューラー株式会社

■ビジネスユニット■ グレインクオリティ&サプライ(穀物貯蔵、穀物搬送、モルト製造・醸造) ミリングソリューション(製粉) バリューニュートリション(パスタ、シリアル、スナック、代替タンパク質などの加工食品、飼料製造) デジタルテクノロジー(光学式選別、精米) コンシューマーフーズ(カカオ、ナッツ、チョコレート、焼き菓子、コーヒーの加工製造) 粉砕・分散(インキ、塗料、化粧品、電池・電子材料等の先端化学品素材製造) ライボルトオプティクス(光学薄膜成膜装置) ダイカスト(ダイカストマシン) ■業務内容■ プラントエンジニアリング  プロセスエンジニアリング  機械設備の販売  メンテナンスサービス  スペアパーツ販売  ■取扱製品■ 粉砕・分散機械、攪拌機、混合・混錬機、製粉設備、製菓・製パン設備(チョコレート、焼成菓子、キャンディなど)、コーヒー焙煎機、醸造・モルト製造設備、各種搬送システム、飼料製造設備、エクストルーダー、精米設備、光学式選別機、パスタ製造設備、エアログライド乾燥設備、ライボルトオプティクス(自動車用リフレクター製造設備)、ダイカストマシン

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