コミヤマエレクトロン株式会社 大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応!】
- 最終更新日:2018-08-23 10:45:24.0
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真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール!真空ロボット方式やローラー方式における課題を解決します!
当社は、真空中での重量物搬送に特化した独自コンセプトのソリューションで、従来方式(真空ロボット方式やローラー方式)における課題を解決します。独自採用のメカニズムにより、僅かな搬送力で重量搬送が可能となり、シンプルな搬送機構で低コストを実現しています。一般的な製品に比べ、50%の薄型化を実現し、チェンバー容積を大幅に削減することができます。
【特長】
■シンプル・スリムなのにパワフル(可搬重量200kg対応)
■低発塵機構
■ロングストローク対応(特許願 2011-10118)
■360度回転可能
■真空排気機能付き専用コントローラ
■カスタマイズ対応
※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
基本情報大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応!】
【仕様】
■可搬重量 200kg以下
■搬送軸 X:3000mm、θ:360°、Z:100mm
■繰り返し精度 ±1mm以下
■搬送速度 X:300mm/s、θ:180°
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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