レモジャパン株式会社高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

最終更新日：2023-01-17 11:19:57.0
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ワンタッチでの簡単操作の嵌合・脱着が可能な小型コネクタ！振動、ねじれ、衝撃など過酷な環境下、狭い場所や短時間での作業にも！

▼【耐高温】
インシュレータにPEEK材を使用したメタルハウジングモデルは
250℃までの高温環境での使用に耐えます。　
▼【真空】
お求め安い価格で漏れ率1x10⁻⁸ Pa. ㎥ /s以下のコンパクトな気密コネクタ
▼【高電圧】
最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ
"ノイズ対策に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用意"
"（シールド付きＰＶＣ被覆線、試験電圧6～60kVDC対応、1重絶縁ケーブル、UL認定品 etc.）"
▼【小型同軸】
「00.250シリーズ」はBNCコネクタと比べて直径で約半分のサイズと小さく、加えて着脱に捻り等の動作を必要としないため、狭ピッチでの実装が可能です。
金メッキのモデルは、非磁性を要求されるアプリケーションに対応出来ます。

上記のような特徴を活かし、数多くのモデルを半導体製造装置でご使用いただいております。

※詳細は資料請求していただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
弊社HP▶https://www.lemo.co.jp/

基本情報高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。

主なアプリケーション分野：

高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置

気密（高真空）仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー　
■ 測長SEM他検査測定装置

耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源

小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM　他　検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ

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詳細情報高真空、耐高温、高電圧、高密度！「半導体製造装置用コネクタ」

: レモコネクタは数多くのモデルが半導体製造装置でご使用いただいております。
■高密度/小型同軸/非磁性/高電圧シールドコネクタ：最大50kVDC 対応
■信頼性の高い真空気密レセプタクルと真空フィールドスルーカプラ
■真空（気密）、He 漏れ率：1x10-7 mbar.l/s (1x10-8 Pa. ㎥ /s). 以下まで対応可能
■耐高温・耐熱性（非防水モデル：～ 250℃、防水モデル：～ 200℃動作可能）