電源装置『アーク抑制型HF-HiPIMS用パルス電源』東京電子

【限定5社デモ機受付中】アーク異常放電を抑制し成膜不良を激減！平均電力アップにより成膜レートを向上させた画期的なパルス電源！

スパッタリングの最大の課題であるアーク異常放電を抑制する機能とHiPIMSの最大の課題である成膜レートを向上させる機能(特許取得済)を備えたHIPIMS用パルス電源です。
弊社独自のHF(High Frequency)モードはHiPIMSの波形の後段にHFパルスを入れることでターゲットのチャージアップをキャンセルし、アークレスな成膜を実現！
アーク異常放電を起こさないことにより平均電力をアップさせることができ成膜レートの向上をさせることができます。

【特長】
■HFモードでアーク異常放電を抑制させ、成膜不良を低減
■3段階パルスによりパルス幅が広がり平均電力がアップ
■アークカットではなく抑制する方法でカット時間をなくし成膜レートが向上
■後段のHFパルスによりアフターグローが長くなり成膜レートの向上

※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

基本情報電源装置『アーク抑制型HF-HiPIMS用パルス電源』

【装置構成】
■正極用 DC電源（Vp-DC Unit）
■負極用 DC電源（Vn-DC Unit）
■パルスユニット（Pulse Unit）
■コントロールユニット（Control Unit）
■制限抵抗器（R-Unit）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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型番・ブランド名	HiPIMS用パルス電源
用途／実績例	【用途】 ■DLC成膜 ■反応性スパッタ ■酸化膜 ■窒化膜　　など

取扱企業電源装置『アーク抑制型HF-HiPIMS用パルス電源』

東京電子株式会社

○自社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造・コンビネーションゲージ　・ピラニゲージ　・コールドカソードゲージ　・ホットカソードゲージ　・その他 ○加速器向け製品・各種真空計　・真空ポンプ用電源　・真空排気装置 ○電子（応用）機器の受託設計・製造・各種制御機器